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パワー半導体 300mmウェハー対応パワー半導体新製造棟の建設決定について 車載用デバイス ストレージ製品 エピタキシャル成長装置 部品材料(窒化ケイ素ベアリングボール、窒化ケイ素セラミックス基盤)