化学物質管理・削減

半導体やストレージ製品などの製造過程では様々な化学物質を使用します。
当社グループでは、有害な化学物質をできるかぎり使用しないことおよび無害な化学物質への代替を進めていくことはもとより、使用する化学物質については製造プロセスの改善や歩留りの改善など生産性向上を図ることにより使用量の削減(使用量の最適化)を行っています。また、使用した後の化学物質についてもリユースやリサイクル、排ガス処理や排水処理による無害化を行い、地球環境への影響を最小限に抑える取り組みも進めています。
このように化学物質の使用(インプット)と排出・廃棄(アウトプット)の両面で削減や改善に取り組むことにより、事業活動における環境リスクの低減を推進するとともに生態系への配慮、地球環境の保護にも貢献しています。

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これは、化学物質管理・削減の画像です。

(株)ジャパンセミコンダクター 大分事業所

(株)ジャパンセミコンダクターでは、MCU製品※1、ASIC製品※2、アナログ製品※3など、幅広い半導体製品の製造を行っています。半導体製品のような量産品の品質を維持するためには、製造過程における工程能力の継続的な確認が欠かせません。そこで、大分事業所では、シリコンウエハ表面の成膜装置を対象に、品質維持と生産性向上の両立を図りながら、工程能力の確認頻度の最適化に取り組みました。その結果、頻度を抑えることで、能力評価過程で使用するシランガスを年間37.5%削減し、化学物質の使用量削減を実現しました。

※1:MCU製品(Microcomputer unit):電子機器を制御する半導体。応用製品例:TV、電話、冷蔵庫などの家電製品や産業機器全般、車のエンジンコントロール、カーナビなど
※2:ASIC製品(Application specific integrated circuit):特定の顧客の用途に合わせて特別に設計・製造される半導体。応用製品例:プリンタ、ゲーム、電子楽器など
※3:アナログ製品:センサーで取り込んだ光や熱(温度)、音声、振動などのアナログ信号をデジタル信号に変換したり、またその逆を行うなど処理・制御する半導体。応用製品例:家電製品、カーオーディオ、無線給電など

製品・技術紹介((株)ジャパンセミコンダクター)

これは、成膜装置概略図の画像です。