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「ESD保護素子を入れているが、後段IC(被保護素子)がESDで破壊される」との事ですが、ESD保護素子の保護性能が合致していない可能性があります。特に後段の被保護素子のESD耐量が低い場合には特に注意が必要です。
静電気の放電電圧は数百V~数万Vの電圧があります。従って、この電圧に対してオンしないことはありません。
ここで考えなければならないのは、被保護素子を劣化または破壊しない電圧で保護素子がオンするか?という事になります。
オンする電圧として代表的なものはツェナー電圧や逆降伏電圧ですが、この電圧は逆バイアスを印加したときに数mAの微小電流が流れるときの電圧を示します。ESDなどでオンする場合、A(アンペア)オーダーの電流が流れることを想定する必要があります。この電圧の定義として、クランプ電圧があります。
図はESDを印加したときの被保護素子端での電圧の時間変化になります。
2つの異なる製品、クランプ電圧24.2VのDF2S23P2CTCと7VのDF2S6P2CTCの結果です。20ns以降でクランプ電圧にほぼ相当する電圧を示しています。
高周波製品などでは20V程度の電圧で劣化や破壊が生じる場合があります。
このため、守るべき対象に合わせたクランプ電圧を持つESD保護用ダイオードを選択する必要があります。