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シリコン以外にも、GaAsやInP、InGaAlPなどの化合物半導体が、高周波デバイスや光半導体として従来から使用されています。近年では、青色LEDやレーザーダイオードとしてInGaNが、またパワー半導体の材料として SiCやGaNが注目されています。