SOIとは何ですか?

SOIとは、Silicon OInsulatorの略です。

通常、ICはPN分離により、それぞれの素子がチップ上に作りこまれます。SOIでは、それぞれの素子間の分離をSiO2膜を用いて行います。このため、従来、PN分離で発生していた横方向や縦方向の寄生素子によるICの誤動作や破壊を防止することが可能になります。

SOI構造断面イメージ図
図1. SOI構造断面イメージ図
PN分離構造断面イメージ図
図2. PN分離構造断面イメージ図

以下の資料にもSOIに関する説明がありますので、ご参照ください。