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SOIとは何ですか？
SOIとは、Silicon On Insulatorの略です。
通常、ICはPN分離により、それぞれの素子がチップ上に作りこまれます。SOIでは、それぞれの素子間の分離を、SiO2膜を用いて行います。このため、従来、PN分離で発生していた横方向や縦方向の寄生素子によるICの誤動作や破壊を防止することが可能になります。
関連リンク
以下の資料にも関連する説明がありますので、ご参照ください。
