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フォトリレーで出力端子間のスイッチを通過させる信号は、フォトリレーがオフの時の出力側端子間容量COFFとフォトリレーがオンのときの出力端子間抵抗(オン抵抗)RONの性能によって信号の波形品質を損なう程度が変わってきます。このRON、COFFが小さいシリーズの製品の場合はGHzオーダーの信号でも取り扱うことが可能です。これらはテスター応用向けにも適用ができます。