2-2. オーミック接合 (Φm < Φn)

オーミック接合はn型半導体の仕事関数Φnが金属の仕事関数Φmに比べ大きいとき、2つの物質を接触させたときになります。
n型半導体と金属を用いたオーミック接合のエネルギーバンド図を示します。図に示すように拡散障壁はありません。このため外部から印加される電圧に対し、極性によらず電流が流れます。ショットキー接合のようなダイオード特性(整流特性)はなく、単なる抵抗特性を示します。半導体(チップ)とパッケージを結ぶボンディング用の半導体側の電極(ボンディングパッド)などに用いられます。

図 2-5 オーミック接合
図 2-5 オーミック接合

2章 ショットキーバリアダイオードの基礎(金属・半導体接合)

2. 金属・半導体接合
2-1. ショットキー接合 (Φm > Φn)
2-3. 伝導度変調

関連情報